Single Chamber Processing

Y.I. Nissim‏ · A. Katz‏

فروری 1993 · European Materials Research Society Symposia Proceedings کتاب 37 · Elsevier

ای بک

173

صفحات

اہل ہے

درجہ بندیوں اور جائزوں کی تصدیق نہیں کی جاتی ہے مزید جانیں

اس ای بک کے بارے میں

Single chamber processing has attracted the attention of a number of researchers as well as industries as an alternative processing "philosophy" to complement or even replace the stringent environment of micro- and optoelectronics device fabrication. Up till now single chamber processing has been an elusive manufacturing objective throughout the history of integrated circuit technology. With the emergence of integrated processing tools in recent years, significant segments for continuous fabrication processes have been successfully realised and their potential has already innovated the industry.The 14 papers in this volume cover topics such as: The background of this approach and up-dated status; Design and concepts of relevant cluster tools equipment; Specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD, ...) annealing or etching reactors; and Standardization efforts. The work will provide both a stimulus for future research in this field, as well as useful reference material on the new technology trends in microelectronic device manufacturing technology.

اس ای بک کی درجہ بندی کریں

ہمیں اپنی رائے سے نوازیں۔

پڑھنے کی معلومات

اسمارٹ فونز اور ٹیب لیٹس

Android اور iPad/iPhone.کیلئے Google Play کتابیں ایپ انسٹال کریں۔ یہ خودکار طور پر آپ کے اکاؤنٹ سے سینک ہو جاتی ہے اور آپ جہاں کہیں بھی ہوں آپ کو آن لائن یا آف لائن پڑھنے دیتی ہے۔

لیپ ٹاپس اور کمپیوٹرز

آپ اپنے کمپیوٹر کے ویب براؤزر کا استعمال کر کے Google Play پر خریدی گئی آڈیو بکس سن سکتے ہیں۔

ای ریڈرز اور دیگر آلات

Kobo ای ریڈرز جیسے ای-انک آلات پر پڑھنے کے لیے، آپ کو ایک فائل ڈاؤن لوڈ کرنے اور اسے اپنے آلے پر منتقل کرنے کی ضرورت ہوگی۔ فائلز تعاون یافتہ ای ریڈرز کو منتقل کرنے کے لیے تفصیلی ہیلپ سینٹر کی ہدایات کی پیروی کریں۔

غیر قانونی مواد کی اطلاع دیں