Single Chamber Processing
Y.I. Nissim · A. Katz
feb. 1993 · European Materials Research Society Symposia Proceedings Bok 37 · Elsevier
E-bok
173
Sidor
family_home
Kvalificerad
info
reportBetyg och recensioner verifieras inte Läs mer
Om den här e-boken
Single chamber processing has attracted the attention of a number of researchers as well as industries as an alternative processing "philosophy" to complement or even replace the stringent environment of micro- and optoelectronics device fabrication. Up till now single chamber processing has been an elusive manufacturing objective throughout the history of integrated circuit technology. With the emergence of integrated processing tools in recent years, significant segments for continuous fabrication processes have been successfully realised and their potential has already innovated the industry.The 14 papers in this volume cover topics such as: The background of this approach and up-dated status; Design and concepts of relevant cluster tools equipment; Specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD, ...) annealing or etching reactors; and Standardization efforts. The work will provide both a stimulus for future research in this field, as well as useful reference material on the new technology trends in microelectronic device manufacturing technology.
Betygsätt e-boken
Berätta vad du tycker.
Läsinformation
Smartphones och surfplattor
Installera appen Google Play Böcker för Android och iPad/iPhone. Appen synkroniseras automatiskt med ditt konto så att du kan läsa online eller offline var du än befinner dig.
Laptops och stationära datorer
Du kan lyssna på ljudböcker som du har köpt på Google Play via webbläsaren på datorn.
Läsplattor och andra enheter
Om du vill läsa boken på enheter med e-bläck, till exempel Kobo-läsplattor, måste du ladda ned en fil och överföra den till enheten. Följ anvisningarna i hjälpcentret om du vill överföra filerna till en kompatibel läsplatta.
