Single Chamber Processing
Y.I. Nissim · A. Katz
1993-02 · European Materials Research Society Symposia Proceedings 37 knyga · Elsevier
El. knyga
173
Puslapiai
family_home
Tinkama
info
reportĮvertinimai ir apžvalgos nepatvirtinti. Sužinokite daugiau
Apie šią el. knygą
Single chamber processing has attracted the attention of a number of researchers as well as industries as an alternative processing "philosophy" to complement or even replace the stringent environment of micro- and optoelectronics device fabrication. Up till now single chamber processing has been an elusive manufacturing objective throughout the history of integrated circuit technology. With the emergence of integrated processing tools in recent years, significant segments for continuous fabrication processes have been successfully realised and their potential has already innovated the industry.The 14 papers in this volume cover topics such as: The background of this approach and up-dated status; Design and concepts of relevant cluster tools equipment; Specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD, ...) annealing or etching reactors; and Standardization efforts. The work will provide both a stimulus for future research in this field, as well as useful reference material on the new technology trends in microelectronic device manufacturing technology.
Įvertinti šią el. knygą
Pasidalykite savo nuomone.
Skaitymo informacija
Išmanieji telefonai ir planšetiniai kompiuteriai
Įdiekite „Google Play“ knygų programą, skirtą „Android“ ir „iPad“ / „iPhone“. Ji automatiškai susinchronizuojama su paskyra ir jūs galite skaityti tiek prisijungę, tiek neprisijungę, kad ir kur būtumėte.
Nešiojamieji ir staliniai kompiuteriai
Galite klausyti garsinių knygų, įsigytų sistemoje „Google Play“ naudojant kompiuterio žiniatinklio naršyklę.
El. knygų skaitytuvai ir kiti įrenginiai
Jei norite skaityti el. skaitytuvuose, pvz., „Kobo eReader“, turite atsisiųsti failą ir perkelti jį į įrenginį. Kad perkeltumėte failus į palaikomus el. skaitytuvus, vadovaukitės išsamiomis pagalbos centro instrukcijomis.
