Microelectronic Materials and Processes
R.A. Levy
2012-ж. дек. · NATO Science Series E 164-китеп · Springer Science & Business Media
4,0star
1 сын-пикирreport
Электрондук китеп
1000
Барактар
reportРейтинг жана сын-пикирлер текшерилген жок Кеңири маалымат
Учкай маалымат
The primary thrust of very large scale integration (VLS!) is the miniaturization of devices to increase packing density, achieve higher speed, and consume lower power. The fabrication of integrated circuits containing in excess of four million components per chip with design rules in the submicron range has now been made possible by the introduction of innovative circuit designs and the development of new microelectronic materials and processes. This book addresses the latter challenge by assessing the current status of the science and technology associated with the production of VLSI silicon circuits. It represents the cumulative effort of experts from academia and industry who have come together to blend their expertise into a tutorial overview and cohesive update of this rapidly expanding field. A balance of fundamental and applied contributions cover the basics of microelectronics materials and process engineering. Subjects in materials science include silicon, silicides, resists, dielectrics, and interconnect metallization. Subjects in process engineering include crystal growth, epitaxy, oxidation, thin film deposition, fine-line lithography, dry etching, ion implantation, and diffusion. Other related topics such as process simulation, defects phenomena, and diagnostic techniques are also included. This book is the result of a NATO-sponsored Advanced Study Institute (AS!) held in Castelvecchio Pascoli, Italy. Invited speakers at this institute provided manuscripts which were edited, updated, and integrated with other contributions solicited from non-participants to this AS!.
Баалар жана сын-пикирлер
4,0
1 сын-пикир
Бул электрондук китепти баалаңыз
Оюңуз менен бөлүшүп коюңуз.
Окуу маалыматы
Смартфондор жана планшеттер
Android жана iPad/iPhone үчүн Google Play Китептер колдонмосун орнотуңуз. Ал автоматтык түрдө аккаунтуңуз менен шайкештелип, кайда болбоңуз, онлайнда же оффлайнда окуу мүмкүнчүлүгүн берет.
Ноутбуктар жана компьютерлер
Google Play'ден сатылып алынган аудиокитептерди компьютериңиздин веб браузеринен уга аласыз.
eReaders жана башка түзмөктөр
Kobo eReaders сыяктуу электрондук сыя түзмөктөрүнөн окуу үчүн, файлды жүктөп алып, аны түзмөгүңүзгө өткөрүшүңүз керек. Файлдарды колдоого алынган eReaders'ке өткөрүү үчүн Жардам борборунун нускамаларын аткарыңыз.
