Mems Packaging

Yung-cheng Lee‏ · Yu-ting Cheng‏ · Ramesh Ramadoss‏

يناير 2018 · WSPC Series in Advanced Integration and Packaging الكتاب 5 · World Scientific

كتاب إلكتروني

364

صفحة

مؤهل

لم يتم التحقّق من التقييمات والمراجعات. مزيد من المعلومات

معلومات عن هذا الكتاب الإلكتروني

MEMS sensors and actuators are enabling components for smartphones, AR/VR, and wearable electronics. MEMS packaging is recognized as one of the most critical activities to design and manufacture reliable MEMS. A unique challenge to MEMS packaging is how to protect moving MEMS devices during manufacturing and operation. With the introduction of wafer level capping and encapsulation processes, this barrier is removed successfully. In addition, MEMS devices should be integrated with their electronic chips with the smallest footprint possible. As a result, 3D packaging is applied to connect the devices vertically for the most effective integration. Such 3D packaging also paves the way for further heterogenous integration of MEMS devices, electronics, and other functional devices.This book consists of chapters written by leaders developing products in a MEMS industrial setting and faculty members conducting research in an academic setting. After an introduction chapter, the practical issues are covered: through-silicon vias (TSVs), vertical interconnects, wafer level packaging, motion sensor-to-CMOS bonding, and use of printed circuit board technology to fabricate MEMS. These chapters are written by leaders developing MEMS products. Then, fundamental issues are discussed, topics including encapsulation of MEMS, heterogenous integration, microfluidics, solder bonding, localized sealing, microsprings, and reliability.

تقييم هذا الكتاب الإلكتروني

أخبرنا ما هو رأيك.

معلومات القراءة

الهواتف الذكية والأجهزة اللوحية

ينبغي تثبيت تطبيق كتب Google Play لنظام التشغيل Android وiPad/iPhone. يعمل هذا التطبيق على إجراء مزامنة تلقائية مع حسابك ويتيح لك القراءة أثناء الاتصال بالإنترنت أو بلا اتصال بالإنترنت أينما كنت.

أجهزة الكمبيوتر المحمول وأجهزة الكمبيوتر

يمكنك الاستماع إلى الكتب المسموعة التي تم شراؤها على Google Play باستخدام متصفح الويب على جهاز الكمبيوتر.

أجهزة القراءة الإلكترونية والأجهزة الأخرى

للقراءة على أجهزة الحبر الإلكتروني، مثل أجهزة القارئ الإلكتروني Kobo، عليك تنزيل ملف ونقله إلى جهازك. يُرجى اتّباع التعليمات المفصّلة في مركز المساعدة لتتمكّن من نقل الملفات إلى أجهزة القارئ الإلكتروني المتوافقة.

الإبلاغ عن محتوى غير قانوني