Fundamental Aspects of Silicon Oxidation
Yves J. Chabal
сне 2012 · Springer Series in Materials Science Кніга 46 · Springer Science & Business Media
Электронная кніга
262
Старонкі
reportАцэнкі і водгукі не спраўджаны Даведацца больш
Пра гэту электронную кнігу
The idea for a book dealing specifically with elementary processes in silicon oxidation was formulated after a stimulating symposium that I organized at the American Physical Society meeting in March, 1998. The symposium, en titled "Dynamics of silicon etching and oxidation", explored the mechanisms governing silicon oxidation. With three experimental talks (Hines, Weldon and Gibson) and two theoretical presentations (Pasquarello and Pantelides), it provided a good cross-section of the recent efforts to characterize the in terfacial region of silicon oxide grown on silicon. The novelty of this work comes from the present experimental and theo retical advances that allow the investigation of the formation of ultra-thin silicon oxides. Although structural characterization of bulk silicon oxides and electrical characterization of thin oxides and their interfaces with silicon have produced an extensive body of work over more than forty years, a mechanis tic understanding of the initial oxidation processes has remained elusive. In the past, both the experimental and theoretical efforts have been thwarted by the complexity of dealing with the formation of a mostly amorphous oxide on a crystalline substrate. In this book we present a survey of the state-of-the-art methods, both ex perimental and theoretical, specifically dealing with the issue of amorphous dielectric growth. Each chapter critically reviews and cross-correlates infor mation provided by experimental techniques, such as microscopy, spectro scopy, or scattering, with results obtained using theoretical methods, such as ab initio electronic structure calculations, molecular dynamics, and Monte Carlo simulations.
Ацаніце гэту электронную кнігу
Падзяліцеся сваімі меркаваннямі.
Чытанне інфармацыb
Смартфоны і планшэты
Усталюйце праграму "Кнігі Google Play" для Android і iPad/iPhone. Яна аўтаматычна сінхранізуецца з вашым уліковым запісам і дазваляе чытаць у інтэрнэце або па-за сеткай, дзе б вы ні былі.
Ноўтбукі і камп’ютары
У вэб-браўзеры камп’ютара можна слухаць аўдыякнігі, купленыя ў Google Play.
Электронныя кнiгi i iншыя прылады
Каб чытаць на такіх прыладах для электронных кніг, як, напрыклад, Kobo, трэба спампаваць файл і перанесці яго на сваю прыладу. Выканайце падрабязныя інструкцыі, прыведзеныя ў Даведачным цэнтры, каб перанесці файлы на прылады, якія падтрымліваюцца.
