Beam Processing Technologies
Norman G. Einspruch · S. S. Cohen · Raj N. Singh
2014 оны 12-р сар · VLSI Electronics Microstructure Science 21-р ном · Academic Press
Электрон ном
558
Хуудас
family_home
Боломжит
info
reportҮнэлгээ болон шүүмжийг баталгаажуулаагүй Нэмэлт мэдээлэл авах
Энэ электрон номын тухай
Beam Processing Technologies is a collection of papers that deals with the miniaturization of devices that will be faster, consume less power, and cost less per operation or fabrication. One paper discusses metal oxide semiconductor (MOS) integrated circuit technology including the operation of devices whose lateral and vertical dimensions are scaled down. If the devices' silicon doping profiles are increased by the same scale factor, they can operate on lower voltages and currents, with the same performance. Another paper describes laser beam processing and wafer-scale integration as techniques to increase the number of devices on a silicon chip. Electron beam technologies can be used in many fabrication processes such as in microlithography, selective oxidation, doping, metrology. Ion beam applications depend on the presence of the ion introduced into the device (e.g. implantation doping), on pseudoelastic collisions (e.g. physical sputtering or crystal damage), and on inelastic scattering (e.g. polymer resist exposure). Silicon molecular beam epitaxy (SiMBE) can also grow high-quality layers at low temperature, particularly concerning germanium, especially as reagrds the growth system design and utilization of n- and p-type doping. Chemical beam epitaxy (CBE) is another epitaxial growth technique that can surpass MBE and metal organic chemical vapor deposition (MO-CVD). The collection is suitable chemical engineers, industrial physicists, and researchers whose work involve micro-fabrication and development of integrated circuits.
Энэ электрон номыг үнэлэх
Санал бодлоо хэлнэ үү.
Унших мэдээлэл
Ухаалаг утас болон таблет
Андройд болон iPad/iPhone-д Google Ном Унших аппыг суулгана уу. Үүнийг таны бүртгэлд автоматаар синк хийх бөгөөд та хүссэн газраасаа онлайн эсвэл офлайнаар унших боломжтой.
Зөөврийн болон ердийн компьютер
Та компьютерийн веб хөтчөөр Google Play-с авсан аудио номыг сонсох боломжтой.
eReaders болон бусад төхөөрөмжүүд
Kobo Цахим ном уншигч гэх мэт e-ink төхөөрөмжүүд дээр уншихын тулд та файлыг татаад төхөөрөмж рүүгээ дамжуулах шаардлагатай болно. Файлуудаа дэмжигддэг Цахим ном уншигч руу шилжүүлэхийн тулд Тусламжийн төвийн дэлгэрэнгүй зааварчилгааг дагана уу.
