Beam Processing Technologies
Norman G. Einspruch · S. S. Cohen · Raj N. Singh
2014 թ. դեկ · VLSI Electronics Microstructure Science Գիրք 21 · Academic Press
Էլ. գիրք
558
Էջեր
family_home
Կարելի է ավելացնել
info
reportԳնահատականները և կարծիքները չեն ստուգվում Իմանալ ավելին
Այս էլ․ գրքի մասին
Beam Processing Technologies is a collection of papers that deals with the miniaturization of devices that will be faster, consume less power, and cost less per operation or fabrication. One paper discusses metal oxide semiconductor (MOS) integrated circuit technology including the operation of devices whose lateral and vertical dimensions are scaled down. If the devices' silicon doping profiles are increased by the same scale factor, they can operate on lower voltages and currents, with the same performance. Another paper describes laser beam processing and wafer-scale integration as techniques to increase the number of devices on a silicon chip. Electron beam technologies can be used in many fabrication processes such as in microlithography, selective oxidation, doping, metrology. Ion beam applications depend on the presence of the ion introduced into the device (e.g. implantation doping), on pseudoelastic collisions (e.g. physical sputtering or crystal damage), and on inelastic scattering (e.g. polymer resist exposure). Silicon molecular beam epitaxy (SiMBE) can also grow high-quality layers at low temperature, particularly concerning germanium, especially as reagrds the growth system design and utilization of n- and p-type doping. Chemical beam epitaxy (CBE) is another epitaxial growth technique that can surpass MBE and metal organic chemical vapor deposition (MO-CVD). The collection is suitable chemical engineers, industrial physicists, and researchers whose work involve micro-fabrication and development of integrated circuits.
Գնահատեք էլ․ գիրքը
Կարծիք հայտնեք։
Տեղեկություններ
Սմարթֆոններ և պլանշետներ
Տեղադրեք Google Play Գրքեր հավելվածը Android-ի և iPad/iPhone-ի համար։ Այն ավտոմատ համաժամացվում է ձեր հաշվի հետ և թույլ է տալիս կարդալ առցանց և անցանց ռեժիմներում:
Նոթբուքներ և համակարգիչներ
Դուք կարող եք լսել Google Play-ից գնված աուդիոգրքերը համակարգչի դիտարկիչով:
Գրքեր կարդալու սարքեր
Գրքերը E-ink տեխնոլոգիան աջակցող սարքերով (օր․՝ Kobo էլեկտրոնային ընթերցիչով) կարդալու համար ներբեռնեք ֆայլը և այն փոխանցեք ձեր սարք։ Մանրամասն ցուցումները կարող եք գտնել Օգնության կենտրոնում։
