Beam Processing Technologies
Norman G. Einspruch · S. S. Cohen · Raj N. Singh
joulu 2014 · VLSI Electronics Microstructure Science Kirja 21 · Academic Press
E-kirja
558
sivuja
family_home
Kelvollinen
info
reportArvioita ja arvosteluja ei ole vahvistettu Lue lisää
Tietoa tästä e-kirjasta
Beam Processing Technologies is a collection of papers that deals with the miniaturization of devices that will be faster, consume less power, and cost less per operation or fabrication. One paper discusses metal oxide semiconductor (MOS) integrated circuit technology including the operation of devices whose lateral and vertical dimensions are scaled down. If the devices' silicon doping profiles are increased by the same scale factor, they can operate on lower voltages and currents, with the same performance. Another paper describes laser beam processing and wafer-scale integration as techniques to increase the number of devices on a silicon chip. Electron beam technologies can be used in many fabrication processes such as in microlithography, selective oxidation, doping, metrology. Ion beam applications depend on the presence of the ion introduced into the device (e.g. implantation doping), on pseudoelastic collisions (e.g. physical sputtering or crystal damage), and on inelastic scattering (e.g. polymer resist exposure). Silicon molecular beam epitaxy (SiMBE) can also grow high-quality layers at low temperature, particularly concerning germanium, especially as reagrds the growth system design and utilization of n- and p-type doping. Chemical beam epitaxy (CBE) is another epitaxial growth technique that can surpass MBE and metal organic chemical vapor deposition (MO-CVD). The collection is suitable chemical engineers, industrial physicists, and researchers whose work involve micro-fabrication and development of integrated circuits.
Arvioi tämä e-kirja
Kerro meille mielipiteesi.
Tietoa lukemisesta
Älypuhelimet ja tabletit
Asenna Google Play Kirjat ‑sovellus Androidille tai iPadille/iPhonelle. Se synkronoituu automaattisesti tilisi kanssa, jolloin voit lukea online- tai offline-tilassa missä tahansa oletkin.
Kannettavat ja pöytätietokoneet
Voit kuunnella Google Playsta ostettuja äänikirjoja tietokoneesi selaimella.
Lukulaitteet ja muut laitteet
Jos haluat lukea kirjoja sähköisellä lukulaitteella, esim. Kobo-lukulaitteella, sinun täytyy ladata tiedosto ja siirtää se laitteellesi. Siirrä tiedostoja tuettuihin lukulaitteisiin seuraamalla ohjekeskuksen ohjeita.
