Beam Processing Technologies
Norman G. Einspruch · S. S. Cohen · Raj N. Singh
اسفند ۲۰۱۴ · VLSI Electronics Microstructure Science کتاب 21 · Academic Press
ای-کتاب
558
صفحه‌ها
family_home
واجد شرایط
info
reportرده‌بندی‌ها و مرورها به‌تأیید نمی‌رسند. بیشتر بدانید
درباره این ای-کتاب
Beam Processing Technologies is a collection of papers that deals with the miniaturization of devices that will be faster, consume less power, and cost less per operation or fabrication. One paper discusses metal oxide semiconductor (MOS) integrated circuit technology including the operation of devices whose lateral and vertical dimensions are scaled down. If the devices' silicon doping profiles are increased by the same scale factor, they can operate on lower voltages and currents, with the same performance. Another paper describes laser beam processing and wafer-scale integration as techniques to increase the number of devices on a silicon chip. Electron beam technologies can be used in many fabrication processes such as in microlithography, selective oxidation, doping, metrology. Ion beam applications depend on the presence of the ion introduced into the device (e.g. implantation doping), on pseudoelastic collisions (e.g. physical sputtering or crystal damage), and on inelastic scattering (e.g. polymer resist exposure). Silicon molecular beam epitaxy (SiMBE) can also grow high-quality layers at low temperature, particularly concerning germanium, especially as reagrds the growth system design and utilization of n- and p-type doping. Chemical beam epitaxy (CBE) is another epitaxial growth technique that can surpass MBE and metal organic chemical vapor deposition (MO-CVD). The collection is suitable chemical engineers, industrial physicists, and researchers whose work involve micro-fabrication and development of integrated circuits.
رده‌بندی این کتاب الکترونیک
نظرات خود را به ما بگویید.
اطلاعات مطالعه
تلفن هوشمند و رایانه لوحی
برنامه «کتاب‌های Google Play» را برای Android و iPad/iPhone بارگیری کنید. به‌طور خودکار با حسابتان همگام‌سازی می‌شود و به شما امکان می‌دهد هر کجا که هستید به‌صورت آنلاین یا آفلاین بخوانید.
رایانه کیفی و رایانه
با استفاده از مرورگر وب رایانه‌تان می‌توانید به کتاب‌های صوتی خریداری‌شده در Google Play گوش دهید.
eReaderها و دستگاه‌های دیگر
برای خواندن در دستگاه‌های جوهر الکترونیکی مانند کتاب‌خوان‌های الکترونیکی Kobo، باید فایل مدنظرتان را بارگیری و به دستگاه منتقل کنید. برای انتقال فایل به کتاب‌خوان‌های الکترونیکی پشتیبانی‌شده، دستورالعمل‌های کامل مرکز راهنمایی را دنبال کنید.
