Beam Processing Technologies
Norman G. Einspruch · S. S. Cohen · Raj N. Singh
dek 2014 · VLSI Electronics Microstructure Science Kitab 21 · Academic Press
E-kitab
558
Səhifələr
family_home
Uyğundur
info
reportReytinqlər və rəylər doğrulanmır Ətraflı Məlumat
Bu e-kitab haqqında
Beam Processing Technologies is a collection of papers that deals with the miniaturization of devices that will be faster, consume less power, and cost less per operation or fabrication. One paper discusses metal oxide semiconductor (MOS) integrated circuit technology including the operation of devices whose lateral and vertical dimensions are scaled down. If the devices' silicon doping profiles are increased by the same scale factor, they can operate on lower voltages and currents, with the same performance. Another paper describes laser beam processing and wafer-scale integration as techniques to increase the number of devices on a silicon chip. Electron beam technologies can be used in many fabrication processes such as in microlithography, selective oxidation, doping, metrology. Ion beam applications depend on the presence of the ion introduced into the device (e.g. implantation doping), on pseudoelastic collisions (e.g. physical sputtering or crystal damage), and on inelastic scattering (e.g. polymer resist exposure). Silicon molecular beam epitaxy (SiMBE) can also grow high-quality layers at low temperature, particularly concerning germanium, especially as reagrds the growth system design and utilization of n- and p-type doping. Chemical beam epitaxy (CBE) is another epitaxial growth technique that can surpass MBE and metal organic chemical vapor deposition (MO-CVD). The collection is suitable chemical engineers, industrial physicists, and researchers whose work involve micro-fabrication and development of integrated circuits.
Bu e-kitabı qiymətləndirin
Fikirlərinizi bizə deyin
Məlumat oxunur
Smartfonlar və planşetlər
Android və iPad/iPhone üçün Google Play Kitablar tətbiqini quraşdırın. Bu hesabınızla avtomatik sinxronlaşır və harada olmağınızdan asılı olmayaraq onlayn və oflayn rejimdə oxumanıza imkan yaradır.
Noutbuklar və kompüterlər
Kompüterinizin veb brauzerini istifadə etməklə Google Play'də alınmış audio kitabları dinləyə bilərsiniz.
eReader'lər və digər cihazlar
Kobo eReaders kimi e-mürəkkəb cihazlarında oxumaq üçün faylı endirməli və onu cihazınıza köçürməlisiniz. Faylları dəstəklənən eReader'lərə köçürmək üçün ətraflı Yardım Mərkəzi təlimatlarını izləyin.
