Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
Babu Suryadevara
thg 1 2016 · Woodhead Publishing
Sách điện tử
536
Trang
family_home
Đủ điều kiện
info
reportĐiểm xếp hạng và bài đánh giá chưa được xác minh Tìm hiểu thêm
Giới thiệu về sách điện tử này
Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the latest information on a mainstream process that is critical for high-volume, high-yield semiconductor manufacturing, and even more so as device dimensions continue to shrink. The technology has grown to encompass the removal and planarization of multiple metal and dielectric materials and layers both at the device and the metallization levels, using different tools and parameters, requiring improvements in the control of topography and defects. This important book offers a systematic review of fundamentals and advances in the area. Part One covers CMP of dielectric and metal films, with chapters focusing on the use of particular techniques and processes, and on CMP of particular various materials, including ultra low-k materials and high-mobility channel materials, and ending with a chapter reviewing the environmental impacts of CMP processes. Part Two addresses consumables and process control for improved CMP, and includes chapters on the preparation and characterization of slurry, diamond disc pad conditioning, the use of FTIR spectroscopy for characterization of surface processes, and approaches for defection characterization, mitigation, and reduction. - Considers techniques and processes for CMP of dielectric and metal films - Includes chapters devoted to CMP for particular materials - Addresses consumables and process control for improved CMP
Giới thiệu tác giả
Babu Suryadevara is distinguished professor and former director of the Center for Advanced Materials Processing (CAMP) at Clarkson University, United States. His research interests include CMP of metal and dielectric films, CMP for shallow-trench isolation, particle-free solutions for CMP, and post-CMP cleaning.
Xếp hạng sách điện tử này
Cho chúng tôi biết suy nghĩ của bạn.
Đọc thông tin
Điện thoại thông minh và máy tính bảng
Cài đặt ứng dụng Google Play Sách cho Android và iPad/iPhone. Ứng dụng sẽ tự động đồng bộ hóa với tài khoản của bạn và cho phép bạn đọc trực tuyến hoặc ngoại tuyến dù cho bạn ở đâu.
Máy tính xách tay và máy tính
Bạn có thể nghe các sách nói đã mua trên Google Play thông qua trình duyệt web trên máy tính.
Thiết bị đọc sách điện tử và các thiết bị khác
Để đọc trên thiết bị e-ink như máy đọc sách điện tử Kobo, bạn sẽ cần tải tệp xuống và chuyển tệp đó sang thiết bị của mình. Hãy làm theo hướng dẫn chi tiết trong Trung tâm trợ giúp để chuyển tệp sang máy đọc sách điện tử được hỗ trợ.
