Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
Babu Suryadevara
ม.ค. 2016 · Woodhead Publishing
eBook
536
หน้า
family_home
มีสิทธิ์
info
reportคะแนนและรีวิวไม่ได้รับการตรวจสอบยืนยัน ดูข้อมูลเพิ่มเติม
เกี่ยวกับ eBook เล่มนี้
Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the latest information on a mainstream process that is critical for high-volume, high-yield semiconductor manufacturing, and even more so as device dimensions continue to shrink. The technology has grown to encompass the removal and planarization of multiple metal and dielectric materials and layers both at the device and the metallization levels, using different tools and parameters, requiring improvements in the control of topography and defects. This important book offers a systematic review of fundamentals and advances in the area. Part One covers CMP of dielectric and metal films, with chapters focusing on the use of particular techniques and processes, and on CMP of particular various materials, including ultra low-k materials and high-mobility channel materials, and ending with a chapter reviewing the environmental impacts of CMP processes. Part Two addresses consumables and process control for improved CMP, and includes chapters on the preparation and characterization of slurry, diamond disc pad conditioning, the use of FTIR spectroscopy for characterization of surface processes, and approaches for defection characterization, mitigation, and reduction. - Considers techniques and processes for CMP of dielectric and metal films - Includes chapters devoted to CMP for particular materials - Addresses consumables and process control for improved CMP
เกี่ยวกับผู้แต่ง
Babu Suryadevara is distinguished professor and former director of the Center for Advanced Materials Processing (CAMP) at Clarkson University, United States. His research interests include CMP of metal and dielectric films, CMP for shallow-trench isolation, particle-free solutions for CMP, and post-CMP cleaning.
ให้คะแนน eBook นี้
แสดงความเห็นของคุณให้เรารับรู้
ข้อมูลในการอ่าน
สมาร์ทโฟนและแท็บเล็ต
ติดตั้งแอป Google Play Books สำหรับ Android และ iPad/iPhone แอปจะซิงค์โดยอัตโนมัติกับบัญชีของคุณ และช่วยให้คุณอ่านแบบออนไลน์หรือออฟไลน์ได้ทุกที่
แล็ปท็อปและคอมพิวเตอร์
คุณฟังหนังสือเสียงที่ซื้อจาก Google Play โดยใช้เว็บเบราว์เซอร์ในคอมพิวเตอร์ได้
eReader และอุปกรณ์อื่นๆ
หากต้องการอ่านบนอุปกรณ์ e-ink เช่น Kobo eReader คุณจะต้องดาวน์โหลดและโอนไฟล์ไปยังอุปกรณ์ของคุณ โปรดทำตามวิธีการอย่างละเอียดในศูนย์ช่วยเหลือเพื่อโอนไฟล์ไปยัง eReader ที่รองรับ
