Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
Babu Suryadevara
Ιαν 2016 · Woodhead Publishing
ebook
536
Σελίδες
family_home
Κατάλληλο
info
reportΟι αξιολογήσεις και οι κριτικές δεν επαληθεύονται Μάθετε περισσότερα
Σχετικά με το ebook
Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the latest information on a mainstream process that is critical for high-volume, high-yield semiconductor manufacturing, and even more so as device dimensions continue to shrink. The technology has grown to encompass the removal and planarization of multiple metal and dielectric materials and layers both at the device and the metallization levels, using different tools and parameters, requiring improvements in the control of topography and defects. This important book offers a systematic review of fundamentals and advances in the area. Part One covers CMP of dielectric and metal films, with chapters focusing on the use of particular techniques and processes, and on CMP of particular various materials, including ultra low-k materials and high-mobility channel materials, and ending with a chapter reviewing the environmental impacts of CMP processes. Part Two addresses consumables and process control for improved CMP, and includes chapters on the preparation and characterization of slurry, diamond disc pad conditioning, the use of FTIR spectroscopy for characterization of surface processes, and approaches for defection characterization, mitigation, and reduction. - Considers techniques and processes for CMP of dielectric and metal films - Includes chapters devoted to CMP for particular materials - Addresses consumables and process control for improved CMP
Σχετικά με τον συγγραφέα
Babu Suryadevara is distinguished professor and former director of the Center for Advanced Materials Processing (CAMP) at Clarkson University, United States. His research interests include CMP of metal and dielectric films, CMP for shallow-trench isolation, particle-free solutions for CMP, and post-CMP cleaning.
Αξιολογήστε αυτό το ebook
Πείτε μας τη γνώμη σας.
Πληροφορίες ανάγνωσης
Smartphone και tablet
Εγκαταστήστε την εφαρμογή Βιβλία Google Play για Android και iPad/iPhone. Συγχρονίζεται αυτόματα με τον λογαριασμό σας και σας επιτρέπει να διαβάζετε στο διαδίκτυο ή εκτός σύνδεσης, όπου κι αν βρίσκεστε.
Φορητοί και επιτραπέζιοι υπολογιστές
Μπορείτε να ακούσετε ηχητικά βιβλία τα οποία αγοράσατε στο Google Play, χρησιμοποιώντας το πρόγραμμα περιήγησης στον ιστό του υπολογιστή σας.
eReader και άλλες συσκευές
Για να διαβάσετε περιεχόμενο σε συσκευές e-ink, όπως είναι οι συσκευές Kobo eReader, θα χρειαστεί να κατεβάσετε ένα αρχείο και να το μεταφέρετε στη συσκευή σας. Ακολουθήστε τις αναλυτικές οδηγίες του Κέντρου βοήθειας για να μεταφέρετε αρχεία σε υποστηριζόμενα eReader.
