Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP)
Babu Suryadevara
gen. del 2016 · Woodhead Publishing
Llibre electrònic
536
Pàgines
family_home
Apte
info
reportNo es verifiquen les puntuacions ni les ressenyes Més informació
Sobre aquest llibre
Advances in Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the latest information on a mainstream process that is critical for high-volume, high-yield semiconductor manufacturing, and even more so as device dimensions continue to shrink. The technology has grown to encompass the removal and planarization of multiple metal and dielectric materials and layers both at the device and the metallization levels, using different tools and parameters, requiring improvements in the control of topography and defects. This important book offers a systematic review of fundamentals and advances in the area. Part One covers CMP of dielectric and metal films, with chapters focusing on the use of particular techniques and processes, and on CMP of particular various materials, including ultra low-k materials and high-mobility channel materials, and ending with a chapter reviewing the environmental impacts of CMP processes. Part Two addresses consumables and process control for improved CMP, and includes chapters on the preparation and characterization of slurry, diamond disc pad conditioning, the use of FTIR spectroscopy for characterization of surface processes, and approaches for defection characterization, mitigation, and reduction. - Considers techniques and processes for CMP of dielectric and metal films - Includes chapters devoted to CMP for particular materials - Addresses consumables and process control for improved CMP
Sobre l'autor
Babu Suryadevara is distinguished professor and former director of the Center for Advanced Materials Processing (CAMP) at Clarkson University, United States. His research interests include CMP of metal and dielectric films, CMP for shallow-trench isolation, particle-free solutions for CMP, and post-CMP cleaning.
Puntua aquest llibre electrònic
Dona'ns la teva opinió.
Informació de lectura
Telèfons intel·ligents i tauletes
Instal·la l'aplicació Google Play Llibres per a Android i per a iPad i iPhone. Aquesta aplicació se sincronitza automàticament amb el compte i et permet llegir llibres en línia o sense connexió a qualsevol lloc.
Ordinadors portàtils i ordinadors de taula
Pots escoltar els audiollibres que has comprat a Google Play amb el navegador web de l'ordinador.
Lectors de llibres electrònics i altres dispositius
Per llegir en dispositius de tinta electrònica, com ara lectors de llibres electrònics Kobo, hauràs de baixar un fitxer i transferir-lo al dispositiu. Segueix les instruccions detallades del Centre d'ajuda per transferir els fitxers a lectors de llibres electrònics compatibles.
